Signal detection · contrast mechanisms

SE/BSE 探测与衬度

二次电子对表面倾角和边缘敏感,背散射电子更强地响应平均原子序数。移动探测器并混合两类信号,观察衬度来源。

低 Z 相 BSE 系数
高 Z 相 BSE 系数
成分衬度
主要衬度
SE 逃逸/形貌BSE 散射/成分低 Z 基体高 Z 颗粒