控制模式选择 (Control Mode)
实时操纵杆与环境偏置
目标指令输入
镜筒几何与焦距
实时耦合矩阵数据看板 (2×2 Simplify Matrix)
[ +0.00 , +0.00 ]
[ -0.020 , +2.000 ]
对中物理公式大解密 (Physics Analysis)
在双偏转系统下,束斑打在物镜主面的径向高度 $x_{lens}$ 以及入射角度 $\theta_{in}$ 满足: $$\begin{cases} x_{lens} = \alpha_u (z_u - z_{lens}) + \alpha_l (z_l - z_{lens}) \\ \theta_{in} = \alpha_u + \alpha_l \end{cases}$$ 电子束经过物镜折射后的偏角 $T_x = \theta_{out} = \theta_{in} - \frac{x_{lens}}{f}$。最终在样品靶面产生的位移为: $$S_x = x_{lens} + T_x \cdot z_{lens} = \alpha_u \left[ z_u - \frac{z_{lens}(z_u - z_{lens})}{f} \right] + \alpha_l \left[ z_l - \frac{z_{lens}(z_l - z_{lens})}{f} \right]$$
当 Wobble 物镜(调制焦距 $f$)时,折射角变化量 $\Delta \theta = -\frac{x_{lens}}{\Delta f}$。 如果 $x_{lens} \neq 0$,折射路径会随 $f$ 的改变而改变,造成光斑在样品面横向漂移,图像产生横向振动。 一旦通过偏转对中使 $x_{lens} = 0$,电子束穿过物镜几何中心,折射角恒等于入射角(无折射变化),调焦时图像将只有纯中心呼吸,毫无抖动!