Simplified Monte Carlo · specimen interaction

电子-样品相互作用体积

入射电子在固体内多次弹性散射并持续损失能量。比较加速电压与原子序数如何改变梨形散射区、SE 近表面区和 BSE 逃逸。

K–O 估算射程
横向展宽
BSE 逃逸比例
近表面 SE 区
入射/慢化轨迹BSE 逃逸SE 近表面层能量沉积