Probe formation · aperture laboratory

光阑与孔径角权衡

减小孔径角可抑制球差并降低束流,却会放大衍射斑和亮度项。调节 α,观察各分量在最优点附近交汇。

合成探针
估算束流通过率
理论最优 α
主导项
球差色差亮度衍射合成当前 α