Probe formation · aperture laboratory
光阑与孔径角权衡
减小孔径角可抑制球差并降低束流,却会放大衍射斑和亮度项。调节 α,观察各分量在最优点附近交汇。
合成探针
—
估算束流通过率
—
理论最优 α
—
主导项
—
球差
色差
亮度
衍射
合成
当前 α